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为了减少高频器件测试时测试条件附加在信号上的噪声,本文采用单端口测试模式(S11)对高频(GHz)双端口声表面波器件(SAWD)频率响应的测试方法,应用Fabry—perot理论模型对该测试方法进行了仿真验证。分别采用S11模式和双端口测试模式(S21)对高频双端口谐振型金刚石声表面波器件进行频响测试。测试和模拟结果表明,采用S11模式测量器件的品质凼数51.29和3dB带宽27.8MHz优于S21模式测量,并与频率响应仿真曲线有着很好的一致性。