【摘 要】
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为提高气体传感器的环境湿度稳定性，从实验和理论两个方面研究了湿度对半导体SnO2基CO气体传感器敏感性能的影响。对自制的CO传感器进行敏感特性测试，获得湿度影响传感器灵
【机 构】
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大连交通大学电气信息学院 辽宁大连 116028
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
为提高气体传感器的环境湿度稳定性，从实验和理论两个方面研究了湿度对半导体SnO2基CO气体传感器敏感性能的影响。对自制的CO传感器进行敏感特性测试，获得湿度影响传感器灵敏度的实验数据。构建了SnO2(110)表面模型及水分子在表面吸附的各种模型，采用密度泛函理论及广义密度近似方法，计算了水分子吸附对表面电特性的影响，研究了湿度影响传感器特性的机理。提出水分子与CO分子对表面同一吸附点存在着竞争吸附，是湿度影响CO气体传感器电导灵敏度的主要原因。
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