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常压射频辉光放电产生的等离子体具有等离子体密度高、均匀稳定等特点，但同时产生的等离子体气体温度高，放电消耗功率高，特别是氩气常压射频辉光放电中放电强度较氮气中更高。最近提出了常压脉冲调制射频辉光放电一方面通过调制射频功率，降低了等离子体气体温度和射频功率消耗，另外实验研究也发现脉冲调制射频辉光放电技术可以在保持放电活性的前提下提高放电的均匀稳定性。