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该文概括地综合地从敏感薄膜的种类、敏感薄膜的制备技术以及薄膜传感器三个方面详细介绍了薄膜传感技术的进展和发展前景。
薄膜传感技术的进展和发展前景
【摘 要】
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该文概括地综合地从敏感薄膜的种类、敏感薄膜的制备技术以及薄膜传感器三个方面详细介绍了薄膜传感技术的进展和发展前景。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
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1994年期
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