LDMOS全漂移区电势与电场二维分布解析模型

来源 :第14届全国信息存储技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tzflz108

【摘要】

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为揭示RESURF LDMOS漂移区的工作机理,通过将漂移区电势进行二阶泰勒展开,结合边界条件简化,解析求解了二维泊松方程,提出了RESURF LDMOS漂移区电势和电场强度二维分布的一种

【作者】

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池雅庆方粮冯辉郝跃许晟瑞

【机构】

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国防科技大学计算机学院微电子研究所,长沙,410073

【出处】

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第14届全国信息存储技术学术会议

【发表日期】

：

2006年期

【关键词】

：

漂移区电势电场强度二维分布解析模型相关性质泰勒展开模拟结果模拟工具解析求解工作机理电场分布泊松方程边界条件栅极验证器件

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为揭示RESURF LDMOS漂移区的工作机理,通过将漂移区电势进行二阶泰勒展开,结合边界条件简化,解析求解了二维泊松方程,提出了RESURF LDMOS漂移区电势和电场强度二维分布的一种解析模型.通过与器件模拟工具ISE TCAD模拟结果的比较,验证了该模型的正确性,并讨论了该模型的相关性质,分析了栅极和漏区对漂移区电势和电场分布的影响.

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