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量产型ZnO基MOCVD设备研制及外延工艺研究
【机 构】
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中山大学物理科学与工程技术学院,广州510275 中山大学半导体照明系统研究中心,广州510006
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年8期
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