长波低温水汽滤光片的研制

• 作 者: 张麟 黄春 张素英 李斌
• 机 构: 中国科学院上海技术物理研究所，上海200083
• 出 处: 全国第十六届十三省(市)光学学术会议
• 发表日期: 2007年8期
• 关键词: 长波滤光片 波长漂移 宽带滤光片 红外滤光片 硒化锌 真空薄膜沉积

长波红外滤光片在低温下通常存在中心波长漂移和透过率降低等缺点。本文介绍了一种应用于低温的长波宽带滤光片的设计与制作。该滤光片以锗为基底，硒化锌及碲化铅为膜层材料，采用真空薄膜沉积方法制备。滤光片温度从300K至90K，中心波长仅飘移5.2×10-3微米，在选定波长区域最大透过率达85％。因此，低温下该滤光片对目标气体组分有较高分辨能力。