【摘 要】
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外气补给风量、除湿风量、冷却风量与洁净风量之多寡,会影响到适当之系统设计,晶圆厂与TFT/LCD厂之外气补给风量很大,因此皆以MAU负责湿度控制,封装测试厂之冷却风量远大于洁
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外气补给风量、除湿风量、冷却风量与洁净风量之多寡,会影响到适当之系统设计,晶圆厂与TFT/LCD厂之外气补给风量很大,因此皆以MAU负责湿度控制,封装测试厂之冷却风量远大于洁净风量,因此必须另设冷却空调机来减少FFU与Dry Coil之数量.对于电子厂或生物科技药厂之环境控制,为了达到洁净度之要求,空调箱之循环风量往往大于冷却需求风量,尤其当室内显热量明显较少时,必须仰赖空调箱之再热装置来提高室内温度,将增加可观之耗能,对于采用电能作为再热热源之工厂,其耗能更不容忽视.本文探讨洁净循环空调箱之旁通应用与节能技术。
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