【摘 要】
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为了提高基于光栅分光的同步移相干涉仪中光能量的利用率,采用二维位相型光栅作为分光元件。在确定光栅参数之后,对存在不同刻蚀误差的二维位相光栅进行了仿真研究,得到
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京210094
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为了提高基于光栅分光的同步移相干涉仪中光能量的利用率,采用二维位相型光栅作为分光元件。在确定光栅参数之后,对存在不同刻蚀误差的二维位相光栅进行了仿真研究,得到二维位相光栅衍射效率分布图。结果显示,即使光栅存在刻蚀误差,(+1,+1),(+1,-1),(-1,+1),(-1,-1)四个级次上的衍射效率相等,且大于16％。因此,证明了使用二维位相光栅提高光能量利用率的有效性。
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