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太赫兹波是0.1～10THz 频段内的电磁波，位于红外和微波之间，处于宏观电子学向微观光子学的过渡区，因而具备一系列的特殊性质，使得太赫兹波在军民两用领域都具有广泛的应用前景，如生物医学、无线通信、环境监测、太赫兹雷达、安全检查、射电天文和材料检测等领域.太赫兹源是制约太赫兹波广泛应用的技术瓶颈，因此发展高性能的太赫兹源是促进太赫兹技术广泛应用的关键.在中科院重要方向性项目“真空电子学太赫兹源关键技术研究”的支持下，中科院电子所开展了0.1THz 的太赫兹扩展互作用振荡器研究.通过突破折叠波导高频结构制备、小型化电子光学系统制备、超薄窗的焊接、电子枪与高频结构高同心度装配等关键技术，在2015 年研制成功了输出信号为0.108THz、输出功率12W 的太赫兹扩展互作用振荡器，高频结构测试如图1 所示.