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本文对无源元件集成化的优点及发展趋势进行了探讨,并在对比各种RC网络集成电路制造工艺的基础上,阐述了我公司研究的利用半导体薄膜工艺实现RC/RCD网络集成电路制造的工艺方法,并介绍了产品的主要性能及优点。
基于半导体薄膜工艺的RCRCD网络集成电路的设计与制造
【摘 要】
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本文对无源元件集成化的优点及发展趋势进行了探讨,并在对比各种RC网络集成电路制造工艺的基础上,阐述了我公司研究的利用半导体薄膜工艺实现RC/RCD网络集成电路制造的工艺方
【机 构】
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黑龙江八达通用微电子有限公司;哈尔滨工业大学
【出 处】
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2005中国集成电路产业发展研讨会暨第八届中国半导体行业协会集成电路分会年会
【发表日期】
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2005年12期
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