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本文应用激光直接在电池的氮化硅抗反射层开出选择性掺杂电极扩散窗口，并分别对选择性掺杂工艺的扩散时间和扩散载气流量进行了研究.实验结果表明：应用激光去除氮化硅抗反射层后，对电池表面损伤较小；随着扩散时间的增加，电池的转换效率减小，最佳扩散时间为5 min；随着扩散载气流量的增加，电池的转换效率先增加后减小，最佳扩散气体流量为1200 ml/min.应用该技术后电池的转换效率提高了0.1个百分点.