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功率VDMOS属于分立器件,以其高开关速度、低损耗等特点而应用广泛。由于功率VDMOS的工作条件恶劣,在高温大电压的应用环境下失效概率较大。本文总结和简述了VDMOS在可靠性考核和实际应用中的一些典型失效分析过程和方法,以及目前针对功率VDMOS失效一些常用的分析手段也作了初步介绍和讨论。