纳米晶LaFeO薄膜的制备及不同气氛处理后的XPS研究

来源 :第七届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windows2xp
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纳米材料是九十年代发展起来的一种新兴材料,由于其粒度小、比表面积大、反应活性强等原因,引起气敏工作者的广泛兴趣。研究发现,纳米晶LaFeO<,3>薄膜,对分属于还原性气体和氧化性气体的乙醇和NO<,2>具有很好的敏感性[1-4]。但制成的元件均存在响应恢复时间长的弱点,即使在一定的真空条件下也不能马上恢复<[4]>。这对于元件的实用化是一个难题,但对探讨LaFeO<,3>材料的敏感机理来说却是一个难得的良机,因为气体在LaFeO<,3>材料上吸附后难以恢复,可以定性地在吸附前后进行各种近似原位的测试。
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