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该文详细介绍了设计用于神光ＩＩＩ中，高灵敏度空间分布多维伺服反射镜调整技术并以１：５缩小模型机构阐述其设计原理、精度指标和达到该指标所采取的技术途径，通过实验结果分析了该机构的可行性，对各误差源进行了误差分析，为下一步的工作提供理论依据。
空间分布多维伺服反射镜精密调整技术
【摘 要】
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该文详细介绍了设计用于神光ＩＩＩ中，高灵敏度空间分布多维伺服反射镜调整技术并以１：５缩小模型机构阐述其设计原理、精度指标和达到该指标所采取的技术途径，通过实验结果分析了该机构的
【机 构】
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科学院光电技术研究所
【出 处】
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第四届全国激光科学技术青年学术交流会
【发表日期】
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1997年期
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