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文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻的实验装置以及实验过程分别作了详细的论述或介绍，并将实验结果应用于微机械元件的制作，取得了较好的结果。
激光LIGA工艺制作微机械元件
【摘 要】
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文章介绍了一种用于三维微结构元件制作的微细加工技术---激光LIGA技术中的一项重要工艺流程；准分子激光深层光刻PMMA光刻胶工艺。文章对准分子与PMMA相互作用的机理，深层光刻
【机 构】
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上海光学精密机械研究所(上海)
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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