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本文简要介绍了硅微传声器的结构设计,针对硅微电容式传声器气体非常小的特点,从一般原理,低频修正三方面对硅微传声器的灵敏度进行了分析.
硅微电容式传声器的灵敏度分析
【摘 要】
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本文简要介绍了硅微传声器的结构设计,针对硅微电容式传声器气体非常小的特点,从一般原理,低频修正三方面对硅微传声器的灵敏度进行了分析.
【机 构】
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中国科学院声学研究所(北京)
【出 处】
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中国声学学会2002年全国声学学术会议
【发表日期】
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2002年9期
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