【摘 要】
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实现热阴极表面微区电子情况的实时观察和分析是阴极工作者期盼已久的愿望.本文介绍的深紫外/紫外激光光发射电子显微镜系统(DUV/UV-PEEM),配装了用于阴极激活的高温预处理模
【机 构】
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中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术实验室 北京100190
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会
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实现热阴极表面微区电子情况的实时观察和分析是阴极工作者期盼已久的愿望.本文介绍的深紫外/紫外激光光发射电子显微镜系统(DUV/UV-PEEM),配装了用于阴极激活的高温预处理模块,可对不同材料及阴极进行紫外光电子、深紫外光电子、热电子、以及以上任意两种类型电子叠加的成像和分析,可在不同气氛、不同温度下,对样品表面微区电子发射过程进行动态观测和分析.应用表明,对于多孔钨阴极而言深紫外比紫外所获成像的分辨率更高,热电子+光电子联合分析可以获得阴极表面更为丰富的信息.这些应用证明,DUV/UV-PEEM系统具备了对热阴极微米量级的区域进行多类型电子成像和分析的功能,是一种全新的和强有力的阴极电子分析装备.
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