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近年来,陶瓷微位移器成为智能致动系统如精密定位技术,振动动主动控制等的关键元件.文章介绍了微位移器的材料、性能、结构、控制技术以及应用情况.
陶瓷微位移器的研究现状及展望
【摘 要】
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近年来,陶瓷微位移器成为智能致动系统如精密定位技术,振动动主动控制等的关键元件.文章介绍了微位移器的材料、性能、结构、控制技术以及应用情况.
【机 构】
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四川压电与声光研究所(重庆)
【出 处】
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第12届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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2002年期
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