薄膜光电特性的椭偏分析

来源 :第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:goodyyl00
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椭圆偏振测量术因其测量准确对样品无破坏的特点,在表征薄膜材料的光电特性方面具有不可替代的重要作用.山东大学开展椭圆偏振测量术的研究工作已近三十年,在椭偏基础理论、仪器开发和测量应用等方面做出了应有的贡献.
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