【摘 要】
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结合PECVD成膜及卷绕设备的制作及控制技术,研发一种在柔性材料表面沉积硅膜,达到有效阻隔氧气、水汽效果的镀膜设备.设备采用多区域放电及多辊卷绕,实现高速镀膜.实测表明,
【机 构】
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广东肇庆市振华真空机械有限公司,广东肇庆526020北京北印东源新材料科技有限公司,北京101407
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结合PECVD成膜及卷绕设备的制作及控制技术,研发一种在柔性材料表面沉积硅膜,达到有效阻隔氧气、水汽效果的镀膜设备.设备采用多区域放电及多辊卷绕,实现高速镀膜.实测表明,生产的阻隔膜完全满足食品包装的要求，室体整体加工，确保了卷绕系统各传动辊的平行及精度。为最终收膜质量断定了基础，选用国际优质的高温液体质量流量计，确保HMDSO不会对充气毛细管造成堵塞，保证了充气的稳定，合适的中频放电及放电区域的合理设计，确保放电稳定，放电区气氛均匀，膜表面光洁，氧化硅膜膜厚一致，多电机同步运动控制技术，使一次走膜可进行多区域放电，沉积速率高，产量大。
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