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类金刚石(Diamond—like Carbon,简称DLC)薄膜,是一种性质类似于金刚石的薄膜,它硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好,具有优良的机械性能、抗腐蚀能力以及光学特性。另一方面,与金刚石薄膜相比,类金刚石薄膜的制备条件相对较为宽松,制备成本较低,使其在机械、电子、光学等领域具有广泛的应用前景。