【摘 要】
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薄膜太阳能电池作为一种太阳能电池的改进，降低了太阳能吸收层的厚度，从而降低了生产的材料成本，但这种优势被较低的光吸收效率所抵偿，所以必须采取一定的陷光措施，其中金属纳
【机 构】
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东南大学电子科学与工程学院 南京 210096
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薄膜太阳能电池作为一种太阳能电池的改进，降低了太阳能吸收层的厚度，从而降低了生产的材料成本，但这种优势被较低的光吸收效率所抵偿，所以必须采取一定的陷光措施，其中金属纳米颗粒作为一种陷光结构被广泛应用于薄膜太阳能电池的光吸收增强中。目前制备薄膜电池表面的金属纳米颗粒的方法主要有，掩膜法，电子束刻蚀，纳米压印技术和热蒸发退火法，前三种方法制备出的金属纳米颗粒阵列的大小和分布相对均匀但制备步骤复杂而且费用较贵，不适宜大规模生产；热蒸发退火法是利用热蒸发法在洁净基底上镀上一层几十纳米厚度的金属膜，然后再保护气体(如氮气)的环境下退火一段时间，由于基底材料和金属膜材料之间的受热之后的应变力不同，表面张力使得金属薄膜裂解成纳米颗粒，所以制备的阵列的颗粒大小分布相对较差，但成本较低，制备简单，适合大规模生产。
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