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为进一步提高投影成像系统的光刻分辨率和焦深,研究利用模拟退火算法设计和优化光瞳滤波器.文中给出光瞳滤波器算法数理模型,利用模拟退火法制定设计原则,给出算法实现过程,用VC++和Matlab混合编程,并进行计算分析,求解和制作最佳滤波器.分析计算和模拟结果表明,用模拟退火法设计优化投影成像光刻光瞳滤波最优滤波器方法可行.