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本文通过原子力显微镜(AFM)和多重分形的分析方法对CBD制备CdS薄膜生长的研究，成功制各出结构紧密的CdS薄膜.研究了强制搅拌对薄膜生长行为的影响。研究表明：在反应初期，随着沉积时间的增加,CdS薄膜多重分形谱的宽度增加，△f增大，薄膜沉积表面高度分布随着沉积时间的增加，不均匀性显著增加。随着沉积的不断继续.CdS薄膜在水平和垂直方向生长并逐渐形成连续致密的镀层。其中，CdS薄膜生长后期表现出异常的多重分形的变化(rms减小，多重分形谱变窄)，该现象的出现由磁力搅拌以及CdS薄膜反应机理造成的。