【摘 要】
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尺度是纳米技术区别于其它技术的本质特征。纳米科学技术研究、纳米新材料研发及其纳米产品制造都依赖于对纳米尺度上各种特性的高准确度和高重复性测量。可以说,纳米测量仪
【机 构】
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中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京100013
【出 处】
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第一届全国纳米材料与结构检测与表征研讨会
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尺度是纳米技术区别于其它技术的本质特征。纳米科学技术研究、纳米新材料研发及其纳米产品制造都依赖于对纳米尺度上各种特性的高准确度和高重复性测量。可以说,纳米测量仪器和计量学研究是保证纳米技术成功发展的关键因素,而其中纳米几何量计量又是各种其它纳米测量的基础。然而,小于100nm的几何特征的测量是对长度计量技术的重大挑战:即要求在至少两维方向上具有纳米级的分辨力才能用于纳米尺度几何特征的测量,因此以往的测量仪器和手段难以满足这样的需求。纳米几何结构包括了距离、形状、表面粗糙度、台阶高度、膜厚、间距和线宽等。
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