高反射膜的工艺研究及应用

来源 :第七届广东省真空学会学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sam_rao
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高反射膜是一种应用非常广泛的重要光学薄膜,在大都数的情况下,对反射膜的要求就是工作光谱内反射率尽可能的高,而在某些特殊场合,不仅要求反射率很高,而且还要求薄膜的吸收很小,因为透射光仍然有用处.对于这两种不同的用场,我们把高反射膜分为金属和介质的两大类.本文介绍,1金属分光膜2.多层全介质高反射膜3.镀制高反射膜的工艺要点。
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