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本文结合国内外超灵敏度检漏技术的发展现状,研制了一套超灵敏度检漏系统.实验表明,该装置能稳定提供10-14Pa.m3/s的氦流量,可解决超灵敏度检漏实时校准的难题.
超灵敏度检漏系统及其校准
【摘 要】
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本文结合国内外超灵敏度检漏技术的发展现状,研制了一套超灵敏度检漏系统.实验表明,该装置能稳定提供10-14Pa.m3/s的氦流量,可解决超灵敏度检漏实时校准的难题.
【机 构】
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清华大学电子工程系,北京
【出 处】
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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会
【发表日期】
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2004年期
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