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随着现代材料科学，纳米技术，微电子技术，MEMS和NEMS技术的迅速发展，以及新型研发和应用的不断深入，迫切需要进一步了解材料的微区(微米-纳米尺度上)的结构和性能，微区再结晶、Kirkendall空穴等新的缺陷和损伤的形成机理，以确保微系统和材料的安全可靠。本文介绍了扫描电子声显微镜(SEAM)和扫描探针显微镜(SPM)等材料微米和纳米尺度的无损评估的技术。