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该文采用自治微波功率吸收的两维混合模型，数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量，重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（等离子体密度、等离子体位势）、以及基板表面的离子电流密度、离子能量、方向角分布的影响，并讨论了ECR等离子体中的某些非线性现象。我们的数值结果与许多实验测量定性相符。
ECR等离子体源的两维计算机模拟研究
【摘 要】
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该文采用自治微波功率吸收的两维混合模型，数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量，重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（等离子体密度、等离子体位势）、以及基板表面
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所中国科技大学近代物理系
【出 处】
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第九届全国等离子体科学技术会议
【发表日期】
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1999年8期
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