基于DSMC方法的圆弧通道盘型分子泵3D流场数值模拟

• 作 者: 刘波 巴德纯 钟亮
• 机 构: 东北大学机械工程与自动化学院,沈阳,110004
• 出 处: 第八届真空冶金与表面工程学术会议
• 发表日期: 2007年期
• 关键词: 方法 圆弧 通道 盘型分子泵 流场 流数值模拟 模拟研究 几何模型 反射模型 抽气性能 指导性 转速 圆盘 设计 描述 结构 表面

本文采用DSMC方法对圆弧通道盘型分子泵3D流场进行了数值模拟研究.首先,介绍了圆弧通道盘型分子泵的几何模型;接下来描述了使用DSMC方法进行圆弧通道盘型分子泵3D流数值模拟需解决的几个问题;最后讨论了不同结构、转速、圆盘表面反射模型对抽气性能的影响,并对圆弧通道盘型分子泵的设计提出了指导性意见.