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本文简述了透明导电薄膜的发展历史，现状和趋势。传统的掺锡氧化铟(tin-dopedindium oxide简称ITO)薄膜性能优异，是重要的平面显示器件和薄膜太阳电池用材料；新型ZnO薄膜制造成本低廉，无毒。易于实现掺杂。且在等离子体中稳定性好，有可能成为ITO的替代产品。多元复合氧化物薄膜是TCO的发展方向之一；溶胶-凝胶制备工艺的开发促进了大面积TCO薄膜的实用化。