【摘 要】
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采用Pechini方法在Pt/Ti/SiO2/Si基板上制备了不同厚度的均质CaTiO3微波介质薄膜。基于位移敏感压痕技术,采用纳米压痕法研究了不同载荷下不同厚度的CaTiO3薄膜的弹性模
【机 构】
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国家先进技术与特殊功能材料实验室,武汉理工大学,湖北武汉430070
【出 处】
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2015中国(景德镇)高技术陶瓷国际论坛暨第九届亚洲陶瓷材料研讨会
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采用Pechini方法在Pt/Ti/SiO2/Si基板上制备了不同厚度的均质CaTiO3微波介质薄膜。基于位移敏感压痕技术,采用纳米压痕法研究了不同载荷下不同厚度的CaTiO3薄膜的弹性模量和硬度。当压入深度小于100 nm时,所有的CaTiO3薄膜的硬度和弹性模量均表现出了明显的尺寸效应,并且随着压入深度的减小,CaTiO3薄膜体系的硬度值和弹性模量值显著的获得提高。随着CT薄膜厚度的增加,其硬度值呈现出先减小后增发的趋势,而弹性模量对厚度变化不敏感。此外,随着薄膜厚度的增加,其能量耗散率逐渐下降,弹性恢复能逐渐增加,表明随着厚度的增加薄膜恢复是更容易的。
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