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采用直流反应磁控溅射方法制备了Ti/TiN多层膜。结构和硬度测试结果表明多层膜硬度依赖于薄膜的调制周期和Ti与TIi层的厚度比。当两者厚度比为1:1，调制周期在30-65mm时，多层膜出现硬度增强现象，可观测到的最大硬度为23GPa；而当其厚度比为1:3时，硬度增强现象出现在调制周期为20-70nm的薄膜中，其最大硬度为21.4GPa。