Invar合金钢荫罩刻蚀液中盐酸浓度酸碱中和滴定分析方法的探讨

• 作 者: 吴志文
• 机 构: 上海新芝电子有限公司,200233
• 出 处: 上海市真空学会第七届学术年会
• 发表日期: 2000年3期
• 关键词: Invar合金钢荫覃 AK钢荫罩 配位化合物 酸烧伤 不匀 刻蚀 盐酸浓度

　　Invar合金钢荫罩刻蚀液中盐酸浓度的控制对Invar合金钢荫罩的质量有着至关重要的影响.本文描述了Invar合金钢荫覃的刻蚀机理及其刻蚀液中盐酸浓度控制的重要性.在Invar合金钢荫罩的刻蚀液中由于三氯化铁(FeCl3)、氯化亚铁(FeCl2)和氯化镍(NiCl2)成份的存在,程大大增加了刻蚀液中盐酸浓度测量的难度.本文介绍了刻蚀液在含有三氯化铁(FeCl3)、氯化亚铁(FeCl2)和氯化镍(NiCl2)成份的宵况下,通过采取一系列措施将刻蚀液中的Fe2+、Fe3+、Ni2+成份分离出来,再运用酸碱中和滴定分析方法测量盐酸浓度的方法.