高分子电容式湿度传感器热真空试验技术研究

• 作 者: 王朝晖 张巍 尤佳
• 机 构: 中国电子科技集团公司第四十九研究所化学传感器研究中心,黑龙江 哈尔滨 150001
• 出 处: 第十五届中国湿度与水分学术交流会
• 发表日期: 2014年期
• 关键词: 高分子电容式湿度传感器 热真空 真空条件 真空环境 输出 灵敏度 综合作用 温度变化

研究了真空环境和温度变化综合作用下湿度传感器输出变化特性,从机理上分析了产生该现象的原因,通过试验方式得到输出与热真空条件之间的变化关系.试验结果表明:在10-4 Pa以上的真空条件下,输出变化不影响传感器的灵敏度;在10-5 Pa以下的热真空环境对传感器的灵敏度影响很大,变化率最大可达8.5％.