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针对ILU-6电子加速器研制了一种法拉第筒脉冲电子束流测量测量系统,该系统由法拉第筒、高阻计、示波器和计算机组成。从加速器束流对法拉第筒测试系统的探测效率和频率两方面要求考虑,基于理论分析,采用斜面收集方式极大改善了收集效率;利用双层屏蔽结构有效降低了长距离信号传输、强环境噪声对弱束流测量的影响,该方法可适用于更低数量级弱束流的测量。最后对加速器束流密度测量的不确定度进行了分析。