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<正>1引言在过去的几十年里,铁电薄膜在制备和理论研究方面取得了很大的发展,其研制成果在非挥发铁电存储、热释电红外探测、非线性光学等技术领域获得了广泛的应用。近年来在MEMS技术快速发展
一种电致伸缩薄膜材料的试制
【摘 要】
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<正>1引言在过去的几十年里,铁电薄膜在制备和理论研究方面取得了很大的发展,其研制成果在非挥发铁电存储、热释电红外探测、非线性光学等技术领域获得了广泛的应用。近年来
【机 构】
：
中国科学院声学研究所;
【发表日期】
：
2004年期
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