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采用自行研制的实验装置,用磁过滤阴极弧等离子体结合二次氧化法,在氧化铝模板上制备类金刚石纳米尖点阵列膜.并利用红外光谱(IR)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)和自制的场发射测试装置等手段对样品的形貌,内部结构以及场发射性能进行表征,发现了较好的场发射性能。
磁过滤阴极弧等离子体制备类金刚石纳米尖点阵列膜
【摘 要】
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采用自行研制的实验装置,用磁过滤阴极弧等离子体结合二次氧化法,在氧化铝模板上制备类金刚石纳米尖点阵列膜.并利用红外光谱(IR)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)
【机 构】
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兰州大学等离子体与金属材料研究所,兰州,730000
【出 处】
：
第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
【发表日期】
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2006年期
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