NiTi薄膜测试中光热技术的应用

• 作 者: 王家敏 毛大立
• 机 构: 部高温材料及高温测试开放实验室,上海交通大学材料科学与工程学院
• 出 处: 1998年中国材料研讨会
• 发表日期: 1998年期
• 关键词: 薄膜测试 光热技术 系统 无损检测 缺陷分析 溅射薄膜 检测方法 厚度范围 分辨能力 调制频率 材料特性 薄膜样品 运用 应用 信号 微米 特征 实验 测量

该文用光热技术对ＮｉＴｉ溅射薄膜进行了测量，探索了光热技术在薄膜无损检测方面运用的可行性。实验结果表明光热技术作为一种无损的检测方法可以应用于厚度范围为数微米的薄膜样品缺陷的检测和材料特性的特征。在系统调制频率为２００ｋＨｚ下ＯＢＤ系统可接收到清晰的信号，ＰＴＲ系统在ＮｉＴｉ薄膜缺陷分析中分辨能力为１０μｍ。