【摘 要】
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传统的节能镀膜玻璃可以分为阳光控制镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃,分别应用于炎热地区和寒冷地区.本文研究兼具阳光控制和低辐射功能的TiN镀膜玻璃的常压化学气相沉积法制备及其改性.通过控制反应温度、反应时间和喷嘴与基板间的距离等参数,在500-600℃获得了性能良好的低辐射镀膜玻璃.在此基础上,通过改变反应流量,在玻璃基板上获得了一系列非化学计量的TiNx薄膜.发现,在x=0.89-1.28的范围内随着x
【机 构】
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硅材料国家重点实验室,浙江大学材料科学与工程学系,杭州,310027,中国
【出 处】
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第七届中国功能玻璃学术研讨会暨新型光电子材料国际论坛
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传统的节能镀膜玻璃可以分为阳光控制镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃,分别应用于炎热地区和寒冷地区.本文研究兼具阳光控制和低辐射功能的TiN镀膜玻璃的常压化学气相沉积法制备及其改性.通过控制反应温度、反应时间和喷嘴与基板间的距离等参数,在500-600℃获得了性能良好的低辐射镀膜玻璃.在此基础上,通过改变反应流量,在玻璃基板上获得了一系列非化学计量的TiNx薄膜.发现,在x=0.89-1.28的范围内随着x减小,导电性能提高,等离子体共振点蓝移,可见光区反射率降低,近红外区反射率提高.x=1.25薄膜的方块电阻为5Ω/sq,中远红外区的反射率为95％,具有优异的低辐射性能,同时其近红外区的反射率为62％,具有良好的阳光控制功能.另外,通过在TiNx薄膜中掺杂钒离子,进一步提高了薄膜的电导率,从而提高了其节能性能.最后,通过后热处理使TiNx薄膜表面部分氧化,在保证其低辐射性能和阳光控制性能的同时,有效提高了其可见光区的透过率.
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