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通过测试微机械加速度计(以下简称微加计)在不同温度环境下的输出情况,分析温度对微加计的偏值和标度因数的影响,利用Matlab软件进行非线性拟合,确定出一种适用于微加计的温度补偿数学模型。经理论分析和实验证明，微加计的偏值和标度因数受温度影响较大。通过对微加计温度曲线进行测试、拟合和优选，认为3阶数学模型为较合理的温度补偿曲线。试验验证，补偿后的微加计的温度稳定性得到有效提高，基本达到工程应用水平，对微加计的工程推广具有一定的实用价值。