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采用分离式拟质点多尺度分析方法对含表面缺陷的单晶铜薄膜纳米压痕进行了模拟研究.分别讨论了缺陷与压头的距离取四种不同数值时,金属薄膜受压荷载与压头位移之间的变化规律.通过对模型x 位移分布图以及Mises 局部剪应变不变量分布图的分析比较,揭示了缺陷对材料内部原子微观结构的影响规律.并进一步计算和讨论了表面缺陷对材料内部Peierls 应力的影响效果.