【摘 要】
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以厚度为12μm,宽幅为1250mm的包装用聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜)作为镀膜基材,采用多电极对磁增强等离子体化学气相卷绕镀膜的方式(Roll to Roll M-PECVD),以六甲基
【机 构】
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广东振华科技股份有限公司,广东肇庆526020
【出 处】
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珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会
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以厚度为12μm,宽幅为1250mm的包装用聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜)作为镀膜基材,采用多电极对磁增强等离子体化学气相卷绕镀膜的方式(Roll to Roll M-PECVD),以六甲基二硅烷(HMDSO)为反应单体,氧气(O2)为辅助放电气体,制备纳米氧化硅高阻隔薄膜,并在PET薄膜表面沉积,达到阻隔氧气和水蒸气透过的效果.同时,分析了所沉积氧化硅薄膜的成分,表征了高阻隔薄膜的表面形貌和氧化硅薄膜的厚度均匀性,并研究了工艺参数对薄膜阻隔性能的影响.实验结果表明,12μm厚的PET薄膜经氧化硅镀膜后,其氧气透过率由原始的130cc/m2.day降至1.5cc/m2.day;水蒸气透过率由原始的40.3g/m2.day降至1.2 g/m2.day;1250mm宽幅轴向镀膜膜层厚度的不均匀度≤10％.
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