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一种石英振梁加速度计激振电路的研制
一种石英振梁加速度计激振电路的研制
来源 :第十六届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sinolee
【摘 要】
:
本文是一篇有关石英振梁加速度计厚膜激振电路的理论研究、设计和批量化持续改进过程的技术总结.详细地介绍了该产品的电路、结构设计及失效产品分析和解决办法等内容,论证了
【作 者】
:
王金婵
【机 构】
:
陕西华经微电子股份有限公司,西安710065
【出 处】
:
第十六届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
2009年9期
【关键词】
:
石英振梁
加速度计
激振电路
多谐振荡器
厚膜集成电路
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本文是一篇有关石英振梁加速度计厚膜激振电路的理论研究、设计和批量化持续改进过程的技术总结.详细地介绍了该产品的电路、结构设计及失效产品分析和解决办法等内容,论证了激振电路模块数字化、批产化和高可靠的设计原则,同时也涉及了传感器行业特点及其发展方向的相关探讨.
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