光纤耦合半导体激光器输出光场相位校正实验研究

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半导体激光器(Laser Diode,LD)具有体积小、重量轻、转换效率高、寿命长等特点,被广泛应用于通信、医疗、材料加工、国防等领域。现有LD一般需要将LD与光纤耦合输出,以方便在多种场合应用,但是由于耦合工艺较为复杂,在实际封装过程中由于工艺装配因素,往往会导致光纤耦合LD输出光束质量变差,亮度下降。液晶空间光调制器(Liquid Crystal Spatial Light Modulator,LC-SLM)具有高空间、高时间分辨率的特点,为此我们使用LC-SLM对光纤耦合LD激光器的输出光场进行相位校正,以提高其亮度。因为LC-SLM对不同偏振、不同波长光束的相位校正能力不同,实验中首先利用Zygo干涉仪对LC-SLM进行相位标定,使其能够在待校正光束波长下精确生成特定幅值的各阶泽尼克像差。完成标定后,使用四波剪切干涉仪(SID4)实时测量输出光束的相位分布,并计算相位分布的各阶泽尼克像差,得到相应的校正数据,输出至LC-SLM进行闭环相位校正。实验表明,经过闭环校正可以将光纤耦合LD输出光束相位PV值由0.6λ降低到0.2λ以下,从而有效提高其输出光束亮度。
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