【摘 要】
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本文从 GaAs PHEMT 器件的失效机理出发,总结了 PHEMT 器件的几种可靠性评估方法：利用沟道区碰撞电高率对 PHEMT 器件的热电子退化的评估方法、高频 C-V 法对肖特基势垒接触退
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院; 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室;
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本文从 GaAs PHEMT 器件的失效机理出发,总结了 PHEMT 器件的几种可靠性评估方法：利用沟道区碰撞电高率对 PHEMT 器件的热电子退化的评估方法、高频 C-V 法对肖特基势垒接触退化的可靠性表征方法、用于欧姆接触退化表征的温度斜坡快速评价方法以及2DEG 结构引起 PHEMT 器件失效的可靠性评估方法．
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