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Study of Control System for a Micro Programmable Blazed Grating
【机 构】
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MEMS/NEMS Lab,Northwestern Polytechnical University,Xi'an,Shaanxi,China
【出 处】
：
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
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2008年期
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