论文部分内容阅读
用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置，在２英寸ＬａＡｌＯ〈，３〉衬底上成功地制备了ＹＢＣＯ薄膜。Ｘ射线衍射、电子通道花样、Φ扫描、扫描电镜对薄膜进行了分析。在２英寸直径范围内薄膜的Ｔ〈，ｃｏ〉＝８８Ｋ～９０Ｋ。
两英寸大面积YBCO超导薄膜工艺探索
【摘 要】
：
用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置，在２英寸ＬａＡｌＯ〈，３〉衬底上成功地制备了ＹＢＣＯ薄膜。Ｘ射线衍射、电子通道花样、Φ扫描、扫描电镜对薄膜进行了分析。在２英寸直径范围内薄膜的Ｔ〈，ｃｏ〉＝８８Ｋ～９０Ｋ。
【机 构】
：
有色金属研究总院
【出 处】
：
第三届全国超导薄膜和超导器件学术会议
【发表日期】
：
1997年期
其他文献
该文简要地叙述了一种结构紧凑的、专门用于测量合肥国家同步辐射实验室研制的６Ｔ超导Ｗｉｇｇｌｅｒ磁铁的磁场测量装置。描述了该测量装置的设计特点和霍尔探头的定位方法以及计算机数据自动
合肥国家同步辐射实验室６Ｔ超导Ｗｉｇｇｌｅｒ的控制系统投入运行后，在超导Ｗｉｇｇｌｅｒ的调试和运行过程中，发挥了显著的作用。该控制系统操作功能强，可同时控制主电源及相关辅助电源共八台，并同时监测液氦的
该文介绍了阳离子置换法制作Hg系高温超导薄膜的方法。用高质量的T1系外延超导薄膜作先驱膜，在Hg气氛中热处理后，可转变为Hg系外延超导薄膜。制作的Hg-1212薄膜，Tc一般在120K左
利用激光分于束外延法在高约2500A的STO台阶衬底和36.8°双晶衬底上外延厚度为2000～2300A的YBCO超导簿膜，用常规的光刻工艺制出DC－SQUID图形。器件进入超导态后，正常态电阻不随温