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PT-PP47:Raman Spectroscopic Study on Silicon Films Prepared by Catalytic Chemical Vapor Deposition
【机 构】
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State Key Laboràtory of Catalysis, Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences
【出 处】
：
第13届亚洲化学大会(13th Asian Chemical Congress)
【发表日期】
：
2009年期
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